中央大學薄膜技術中心

 

鍍膜設備
微波電漿源蝕刻系統 Microwave plasma source etching system	雙電子槍蒸鍍機 Dual E-Beam Gun Evaporation System
脈衝式磁控濺鍍系統 Magnetron Sputter	離子束濺鍍機 Ion Beam Sputtering Deposition System
旋轉塗佈鍍膜機 Spin Coater)	多腔梅瓣式濺鍍系統 Cluster
手套箱 Glove box	電漿輔助原子層沉積 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition, PEALD
量測設備
場發射式掃描電子顯微鏡  FE-SEM		能量色散光譜 EDS
原子力顯微鏡 AFM		紫外光可見光近紅外光光譜儀 U-4100
拉曼光譜儀 Raman Spectrometer		X射線繞射儀 XRD
霍爾量測儀 Hall Effect Measurement Analyzer		傅立葉轉換紅外光譜儀 FTIR
表面輪廓儀 Alpha-step		光學顯微鏡 Optical Microscope
接觸角量測儀 CA

 

 

*雙電子槍蒸鍍機 (Dual E-Beam Gun Evaporation System)                                                  *雙電子槍蒸鍍機 (Dual E-Beam Gun Evaporation System)

                                                                                       

*微波電漿源蝕刻系統 (Microwave plasma source etching system)                                    *多腔梅瓣式濺鍍系統 (Cluster)

                                                                                       

*MOS2爐管 (MOS2 Furnace)                                                                                                *HBN爐管(HBN Furnace)

                                                                                       

*旋轉塗佈鍍膜機 (Spin Coater)                                                                                              *手套箱 (Glove box)

                                                                                      

*電漿輔助原子層沉積 (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition)                                 *離子束濺鍍機 (Ion Beam Sputtering Deposition System)

                                                                                      

*脈衝式磁控濺鍍系統 (Magnetron Sputter)

 

量測設備

• 場發射式掃描電子顯微鏡FE-SEM                                                                                           能量色散光譜 EDS

                                                                                          

• 原子力顯微鏡AFM                                                                                                                   紫外光可見光近紅外光光譜儀 U-4100

                                                                                          

• 拉曼光譜儀 Raman Spectrometer                                                                                          X射線繞射儀 XRD

                                                                                        

• 霍爾量測儀 Hall Effect Measurement Analyzer                                                                     傅立葉轉換紅外光譜儀 FTIR

                                                                                          

• 表面輪廓儀 Alpha-step                                                                                                            光學顯微鏡 Optical Microscope  

                                                                                          

• 接觸角量測儀 CA 

                    

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